| 产品特性：等离子蚀刻 | 加工定制：是 | 品牌：ULVAC爱发科 |
| 型号：蚀刻 | 用途：等离子蚀刻 | 订货号：等离子蚀刻 |
| 货号：高密度等离子蚀刻 | 别名：高密度等离子蚀刻 | 规格：高密度等离子蚀刻 |
| 是否跨境货源：否 |
量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800
量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800是可以对应单腔及多腔、重视性价比拥有扩展性的刻蚀设备。
产品特性 / Product characteristics
除单腔之外，另可搭载有磁场ICP（ISM）或NLD等离子源、去胶腔体、CCP腔体等对应多种刻蚀工艺。
为实现制程再现性及安定性搭载了星型电极及各种调温技能。
拥有简便的维护构造，实现downtime***化，提供清洗、维护及人员训练服务等综合性的售后服务体制。
专门的半导体技术研究所会提供万全的工艺支持体制。
产品应用 / Product application
化合物（LED或LD、高频器件）或Power device（IGBT配線加工、SiC加工）。
金属配线或层间绝缘膜（树脂类）、门电极加工工艺
强电介质材料或贵金属刻蚀。
磁性体材料加工。
