| 加工定制：否 | 品牌：德国 Centrotherm | 型号：c.RAPID 150 |
| 用途：研发和小规模量产 | 是否跨境货源：否 |
Centrotherm 快速退火炉-c.RAPID 150
一、产品简介
德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商，尤其在高温设备领域。Centrotherm c.RAPID 150是一款高性能、多用途的快速退火设备，主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。
Centrotherm测温系统适用于从室温至高温的广泛区间。Centrotherm优化的多区温控系统结合可以独立控制的加热灯，提供了***控温精度和控温重复性。
此款设备配置手动装载系统，适用于研发以及小型的量产。
成熟的真空操作和气体管理系统为多种应用提供了可控的气体环境。***性能和高度的灵活性，结合小的占地面积，低的客户拥有成本，使c.RAPID 150成为一款佳的手动RTP设备。
二、典型应用
l 退火：一般退火、接触层（Contact）退火、源/漏退火、势垒金属退火
l 硅化
l 氧化
l 掺杂活化
三、产品特性
l 可在常压或者真空（控压）下工作
l 高度灵活性：适用于6寸的硅片或者可放置基片的6寸托盘
l 升温速率约150 K/s
l ***温度均匀性
l 确的环境控制
l 高的设备可靠性
l 可以并排安装
