| 产品特性：TRYMAX | 加工定制：是 | 品牌：TRYMAX 等离子除胶机 |
| 型号：TRYMAX 等离子除胶机 | 用途：TRYMAX 等离子除胶机 | 别名：TRYMAX 等离子除胶机 |
| 规格：TRYMAX 等离子除胶机 |
TRYMAX 等离子除胶机
型号：NEO系列
TRYMAX
Trymax目前拥有半自动、全自动系列设备供用户选择，目前已有上百台设备安装在世界各地，被广泛地应用于MEMS微机电系统、微流体器件、SOI基片制造、***封装、化合物半导体器件、功率器件和光电显示等领域。
NEO2400系列是Trymax半导体设备***的NEO系列***等离子灰化和蚀刻产品的***成员之一。
NEO 2400系统可配置任何现有的处理模块，并与直径达200mm的基板兼容。
?特征
- 200mm晶圆尺寸/基板尺寸
-4个集成的SMIF索引器或4个开放式卡带站
-4轴双臂机器人用横臂搬运
- 可选的冷却站和切口对准器
-2或4个处理室
-4种不同的处理室技术：
?下游微波（2.45 GHz）
?RF偏压（13.56 MHz）
?双源（微波，射频偏压）
?DCP（RF偏压，直接耦合等离子）
- 优异的均匀性和可重复性
- 机械吞吐量> 300wph
- 紧凑的足迹
- 非常低的拥有成本
- 完全数字控制的Devicenet，以太网
- 基于窗口的工业计算机
?应用程序
- 阻挡条带
-Descum处理
- 去除聚合物
- 邮寄高剂量植入带
- 氮化硅蚀刻应用
-MEMS应用程序
- ***的包装加工（PR，PI，BCB，PBO）
