| 产品特性：TRYMAX | 加工定制：是 | 品牌：TRYMAX 等离子除胶机 |
| 型号：TRYMAX 等离子除胶机 | 用途：TRYMAX 等离子除胶机 | 别名：TRYMAX 等离子除胶机 |
| 规格：TRYMAX 等离子除胶机 |
TRYMAX 等离子除胶机
型号：NEO系列
TRYMAX
Trymax目前拥有半自动、全自动系列设备供用户选择，目前已有上百台设备安装在世界各地，被广泛地应用于MEMS微机电系统、微流体器件、SOI基片制造、***封装、化合物半导体器件、功率器件和光电显示等领域。
NEO3400系列是Trymax半导体设备***的NEO系列***等离子灰化和蚀刻产品的***成员之一。
它可以满足产量，适应每个生产阶段和预算。 NEO 3000系统可配置任何现有的Trymax NEO工艺模块，并与直径达300mm的基板兼容。小尺寸和模块化设计可根据您的需要灵活配置。
?特征
- 300毫米晶圆尺寸/基板尺寸
-3或4个装载端口
-4轴双臂机器人用横臂搬运
-2或4个处理室。
-4种不同的处理室技术：
?下游微波（2.45 GHz）
?射频偏压（13.56MHz）
?双源（微波，射频偏压）
?DCP（RF偏置，直接耦合等离子）
- 优异的均匀性和可重复性
- 机械吞吐量> 300wph
- 紧凑的足迹
- 非常低的拥有成本
