TESCAN-S8000型***分辨场发射扫描电镜详细介绍

S8000 系列（NEW ! ）

追求ji致性能！完成具挑战性的纳米分析工作。

TESCAN推出了全新yi代S8000系列扫描电镜，目前包括：S8000型***分辨场发射扫描电镜和S8000G型镓离子聚焦离子束双束扫描电镜。

S8000 FE-SEM

全新设计的S8000***分辨场发射扫描电镜可以提供***的图像质量，具有强大的扩展分析能力，能够满足现今工业研发和科研的所有需求，不仅适用于高端的纳米分析应用，也给操作者带来舒适、高效的使用体验。 S8000 FE-SEM的优点： 新yi代镜筒内电子加速、减速技术，***了复杂样品的低电压高分辨观测能力 ***配置的静电-电磁复合物镜，物镜无磁场外泄，实现磁性样品高分辨成像及

S8000G FIB-SEM

S8000G是TESCAN新S8000系列扫描电镜的第yi个新成员，是yi款***分辨双束FIB-SEM系统，它可以提供***的图像质量，具有强大的扩展分析能力，并能以ji佳的精度、效率完成复杂的纳米加工和操作，可满足现今工业研发和学术界研究的所有需求。 S8000G FIB-SEM的优点： 新yi代镜筒内电子加速、减速技术，***了复杂样品的低电压高分辨观测能力 ***配置的静电-

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S8000 系列（NEW ! ）

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应用实例

 S8000G FIB-SEM

S8000G是TESCAN***S8000系列扫描电镜的***个新成员，是一款***分辨双束FIB-SEM系统，它可以提供***的图像质量，具有强大的扩展分析能力，并能以***的精度、效率完成复杂的纳米加工和操作，可满足现今工业研发和学术界研究的所有需求。 S8000G FIB-SEM的优点： ***镜筒内电子加速、减速技术，***了复杂样品的低电压高分辨观测能力 ***配置的静电-

S8000 系列（NEW ! ）S8000G FIB-SEM

S8000G是TESCAN***S8000系列扫描电镜的***个新成员，是一款***分辨双束FIB-SEM系统，它可以提供***的图像质量，具有强大的扩展分析能力，并能以***的精度、效率完成复杂的纳米加工和操作，可满足现今工业研发和学术界研究的所有需求。

S8000G FIB-SEM的优点：

· ***镜筒内电子加速、减速技术，***了复杂样品的低电压高分辨观测能力

· ***配置的静电-电磁复合物镜，物镜无磁场外泄，实现磁性样品高分辨成像及分析

· 配置4个***探测器，可实现9种图像观测，对样品信息的采集更加全面

· 配置大型样品室，有超过20个扩展接口，为原位观测、分析创造了良好的工作环境

· 可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件，并实现与TOF-SIMS、Raman联用

· ***操作软件和自动功能，FIB镜筒具有全自动的离子镜筒对中，***简化了操作

· 概述

*** Orage? Ga FIB镜筒，适用于各类具有挑战性的纳米加工任务

TESCAN S8000配置了***的BrightBeam?镜筒，实现了无磁场***分辨成像，可以化的实现各种分析，包括磁性样品的分析。新型镜筒中的电子光路设计增强了低能量电子成像分辨率，特别适合对电子束敏感样品和不导电样品的分析。创新的Orage? Ga FIB镜筒配有进的离子枪和离子光学镜筒，使得TESCAN S8000G成为了世界的样品制备和纳米图形成型的仪器。

S8000G束流可达100nA，具有超快速的加工能力，新颖的SmartMill高速切割功能，使得加工效率提升一倍。
S8000G离子能量***可达500eV，拥有更***的低压样品制备能力，可以快速制备无损超薄TEM样品。
可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件，并实现与TOF-SIMS、Raman一体化。



***OptiGIS?气体注入系统

S8000可配置***的多种探测器，包括透镜内Axial detector 以及 Multidetector，可选择不同角度和不同能量来收集信号，体现更多种类的信息，同时获得更好的表面灵敏度和对比度。S8000G有两种气体注入系统可供选择，标准的5针-GIS和***OptiGIS单针-GIS，单针的OptiGIS支持通过更换气罐来更换化学气体，避免了以往多针气体注入系统样品仓内占用空间大的问题。

两种气体注入系统均可以选择多种沉积气体，其中W、Pt、C等用于导电材料沉积，SiOx用于绝缘材料沉积，XeF2、H2O等用于增强刻蚀，或其它定制气体。



***Essence?操作软件，更简单、高效的操作平台

S8000可配置***的多种探测器新操作软件***简化了用户界面，能快速访问各主要功能，减少了繁琐的下单菜单操作，并优化了操作流程向导，易于学习，兼容多用户需求，可根据工作需要定制操作界面。

新颖的样品舱内3D空间位置和移动轨迹模拟功能，可避免误操作，造成碰撞。


样品舱内的3D空间位置和移动轨迹模拟


集成多项创新性设计，拓展新应用领域的利器

S8000可配置***的多种探测器S8000G是TESCAN***FIB-SEM的***成员，集成了BrightBeam? SEM镜筒、Orage? GaFIB镜筒、OptiGIS气体注入系统等多项创新设计，在高分辨能力、原位应用扩展能力和分析扩展能力方面达到了业内水平，此外***操作流程和软件也给使用者带来更舒适、高效的体验。

 S8000 系列（NEW ! ）S8000 FE-SEM

全新设计的S8000***分辨场发射扫描电镜可以提供***的图像质量，具有强大的扩展分析能力，能够满足现今工业研发和科研的所有需求，不仅适用于高端的纳米分析应用，也给操作者带来舒适、高效的使用体验。

S8000 FE-SEM的优点：

· 新yi代镜筒内电子加速、减速技术，***了复杂样品的低电压高分辨观测能力

· ***配置的静电-电磁复合物镜，物镜无磁场外泄，实现磁性样品高分辨成像及分析

· 配置4个新yi代探测器，可实现9种图像观测，对样品信息的采集更加全面

· 配置大型样品室，有超过20个扩展接口，为原位观测、分析创造了良好的工作环境

· 可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件，如EDS、EBSD、CL、EBL，并du家实现与Raman联用

创新的电子光学镜筒，使电镜拥有更加******分辨率

TESCAN S8000配置了新的BrightBeam?镜筒，实现了无磁场***分辨成像，可以大化的实现各种分析，包括磁性样品的分析。新型镜筒中的电子光路设计增强了低能量电子成像分辨率，特别适合对电子束敏感样品和不导电样品的分析。

另外，EquiPower?透镜技术可有效减少能量损耗并***电子镜筒的稳定性。

BrightBeam?电子光学镜筒及探测器系统
（A）Axial detector (In-Beam)
（B）Multidetector (In-Beam)
（C）E-T detector (In-Chamber)
（D）Retractable BSE (In-Chamber)


配备新的多种探测器，更好的表面灵敏度和对比度

S8000可配置新的多种探测器，包括透镜内Axial detector 以及 Multidetector，可选择不同角度和不同能量来收集信号，体现更多种类的信息，同时获得更好的表面灵敏度和对比度。

S8000 系列（NEW ! ）S8000G FIB-SEM

S8000G是TESCAN新S8000系列扫描电镜的第yi个新成员，是yi款***分辨双束FIB-SEM系统，它可以提供***的图像质量，具有强大的扩展分析能力，并能以ji佳的精度、效率完成复杂的纳米加工和操作，可满足现今工业研发和学术界研究的所有需求。

S8000G FIB-SEM的优点：

· 新yi代镜筒内电子加速、减速技术，***了复杂样品的低电压高分辨观测能力

· ***配置的静电-电磁复合物镜，物镜无磁场外泄，实现磁性样品高分辨成像及分析

· 配置4个新yi代探测器，可实现9种图像观测，对样品信息的采集更加全面

· 配置大型样品室，有超过20个扩展接口，为原位观测、分析创造了良好的工作环境

· 可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件，并du家实现与TOF-SIMS、Raman联用

· 新yi代操作软件和自动功能，FIB镜筒具有全自动的离子镜筒对中，ji大简化了操作

· 概述

新yi代 Orage? Ga FIB镜筒，适用于各类具有挑战性的纳米加工任务

TESCAN S8000配置了新的BrightBeam?镜筒，实现了无磁场***分辨成像，可以大化的实现各种分析，包括磁性样品的分析。新型镜筒中的电子光路设计增强了低能量电子成像分辨率，特别适合对电子束敏感样品和不导电样品的分析。创新的Orage? Ga FIB镜筒配有***的离子枪和离子光学镜筒，使得TESCAN S8000G成为了世界的样品制备和纳米图形成型的仪器。

S8000G束流可达100nA，具有超快速的加工能力，新颖的SmartMill高速切割功能，使得加工效率提升yi倍。
S8000G离子能量低可达500eV，拥有更***的低压样品制备能力，可以快速制备无损超薄TEM样品。
可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件，并du家实现与TOF-SIMS、Ramanyi体化。



新yi代OptiGIS?气体注入系统

S8000可配置新的多种探测器，包括透镜内Axial detector 以及 Multidetector，可选择不同角度和不同能量来收集信号，体现更多种类的信息，同时获得更好的表面灵敏度和对比度。S8000G有两种气体注入系统可供选择，标准的5针-GIS和新yi代OptiGIS单针-GIS，单针的OptiGIS支持通过更换气罐来更换化学气体，避免了以往多针气体注入系统样品仓内占用空间大的问题。

两种气体注入系统均可以选择多种沉积气体，其中W、Pt、C等用于导电材料沉积，SiOx用于绝缘材料沉积，XeF2、H2O等用于增强刻蚀，或其它定制气体。



新yi代Essence?操作软件，更简单、高效的操作平台

S8000可配置新的多种探测器新操作软件ji大简化了用户界面，能快速访问各主要功能，减少了繁琐的下单菜单操作，并优化了操作流程向导，易于学习，兼容多用户需求，可根据工作需要定制操作界面。

新颖的样品舱内3D空间位置和移动轨迹模拟功能，可避免误操作，造成碰撞。


样品舱内的3D空间位置和移动轨迹模拟


集成多项创新性设计，拓展新应用领域的利器

S8000可配置新的多种探测器S8000G是TESCAN新yi代FIB-SEM的***成员，集成了BrightBeam? SEM镜筒、Orage? GaFIB镜筒、OptiGIS气体注入系统等多项创新设计，在高分辨能力、原位应用扩展能力和分析扩展能力方面达到了业内水平，此外新yi代操作流程和软件也给使用者带来更舒适、高效的体验。