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EVG多功能键合机 GEMINI 300

产品标签  | 多功能融合键合机 大量产键合机 SMARTVIEW对位方式

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EVG多功能键合机 GEMINI 300

装载室：三轴机器人键合腔室的数目：4数量模块：9

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    加工定制：是品牌：EVG型号： GEMINI
    用途：键合

    集成SMART VIEW对位方式

    加热器的尺寸=晶片直径：150毫米，200mm，    300mm

    接触力：10 kN，20千牛，60千牛，100 kN

    温度：550°C（可选600°C）

    真空：10E-3毫巴（标准），10E-5真空可选

    阳极键合功率：0-2.000v / 50mA

    装载室：三轴机器人

    键合腔室的数目：4

    数量模块：9

    客户/应用：先导线+制造业，大批量生产


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